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文献
J-GLOBAL ID：201202274489737906
整理番号：12A0121636
新しい開発した微分ポンピング同時スパッタリングシステムによる新しいナノ複合体膜の蒸着
Deposition of novel nanocomposite films by a newly developed differential pumping co-sputtering system
NOSE Masateru
(Fac. of Art and Design, Univ. of Toyama, Takaoka 933-8588, JPN)
,
KURIMOTO Takeshi
(Fac. of Art and Design, Univ. of Toyama, Takaoka 933-8588, JPN)
,
SAIKI Atsushi
(Fac. of Art and Design, Univ. of Toyama, Takaoka 933-8588, JPN)
,
MATSUDA Kenji
(Fac. of Art and Design, Univ. of Toyama, Takaoka 933-8588, JPN)
,
TERAYAMA Kiyoshi
(Fac. of Art and Design, Univ. of Toyama, Takaoka 933-8588, JPN)
資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films
(Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻： 30 号： 1 ページ： 011502 発行年： 2012年01月
JST資料番号： C0789B ISSN： 0734-2101 CODEN： JVTAD6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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