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文献
J-GLOBAL ID：201202274564559857
整理番号：12A0653001
ゾル-ゲル合成したZrO2/Si薄膜の熱処理下での相と構造の発達
Phase and structural evolution of sol-gel synthesized ZrO2/Si thin films under heat treatment
HWANG Soo Min
(Sungkyunkwan Univ., School of Advanced Materials Sci. and Engineering, 440-746, Suwon, KOR)
,
PARK Geun Chul
(Sungkyunkwan Univ., School of Advanced Materials Sci. and Engineering, 440-746, Suwon, KOR)
,
LIM Jun Hyung
(Sungkyunkwan Univ., School of Advanced Materials Sci. and Engineering, 440-746, Suwon, KOR)
,
JOO Jinho
(Sungkyunkwan Univ., School of Advanced Materials Sci. and Engineering, 440-746, Suwon, KOR)
資料名：
Journal of Materials Science
(Journal of Materials Science)
巻： 47 号： 13 ページ： 5216-5221 発行年： 2012年07月
JST資料番号： B0722A ISSN： 0022-2461 CODEN： JMTSAS 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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