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文献
J-GLOBAL ID：201202275675328079
整理番号：12A1371177
透過型走査電子顕微鏡の超低角環状暗視野イメージング マイクロ及びナノ評価のための多用途ツール
Very low angle annular dark field imaging in the scanning transmission electron microscope: A versatile tool for micro- and nano-characterization
BAUMANN Frieder H.
(IBM Microelectronics Div., 2070 Route 52 Hopewell Junction, New York 12533)
資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena
(Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena)
巻： 30 号： 4 ページ： 041804-041804-6 発行年： 2012年07月
JST資料番号： E0974A ISSN： 2166-2746 CODEN： JVTBD9 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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