文献
J-GLOBAL ID:201202275757143085
整理番号:12A0543322
Si片持ち梁の貼り付き現象に与える最終処理の影響
Influence of Final treatment on the Sticking figure of Silicon Cantilever-beam
著者 (2件):
加藤一郎
(宇宙航空研究開発機構)
,
加藤真耶
(宇宙航空研究開発機構)
資料名:
電子情報通信学会技術研究報告
(IEICE Technical Report (Institute of Electronics, Information and Communication Engineers))
巻:
111
号:
438(R2011 42-51)
ページ:
19-23
発行年:
2012年02月10日
JST資料番号:
S0532B
ISSN:
0913-5685
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
日本 (JPN)
言語:
日本語 (JA)