文献
J-GLOBAL ID:201202276200551535
整理番号:12A1152368
干渉測定的制御平面ナノ位置決めシステムの設計と性能評価
Design and performance evaluation of an interferometric controlled planar nanopositioning system
著者 (5件):
HESSE S
(Inst. Mikroelektronik-u. Mechatronik Systeme gemeinnuetzige GmbH, Ilmenau, DEU)
,
SCHAEFFEL C
(Inst. Mikroelektronik-u. Mechatronik Systeme gemeinnuetzige GmbH, Ilmenau, DEU)
,
MOHR H-U
(Inst. Mikroelektronik-u. Mechatronik Systeme gemeinnuetzige GmbH, Ilmenau, DEU)
,
KATZSCHMANN M
(Inst. Mikroelektronik-u. Mechatronik Systeme gemeinnuetzige GmbH, Ilmenau, DEU)
,
BUECHNER H-J
(Ilmenau Univ. Technol., Ilmenau, DEU)
資料名:
Measurement Science and Technology
(Measurement Science and Technology)
巻:
23
号:
7
ページ:
074011,1-10
発行年:
2012年07月
JST資料番号:
C0354C
ISSN:
0957-0233
CODEN:
MSTCEP
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)