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文献
J-GLOBAL ID：201202276435241983
整理番号：12A0395911
共スパッタリング析出で,チタン-アルミニウム-ポリテトラフルオロエチレンを被覆したステンレス鋼の微小型:高温型押し加工における転写性能と限界
Titanium-aluminum-polytetrafluoroethylene coated stainless steel micromold via co-sputtering deposition: Replication performance and limitation in hot-embossing
SAHA Biswajit
(Singapore-MIT Alliance, Nanyang Technological Univ., 65 Nanyang Avenue, Singapore 637460, SGP)
,
TOR Shu B.
(Singapore-MIT Alliance, Nanyang Technological Univ., 65 Nanyang Avenue, Singapore 637460, SGP)
,
TOR Shu B.
(School of Mechanical and Aerospace Engineering, Nanyang Technological Univ., 50 Nanyang Avenue, Singapore 639798, SGP)
,
LIU Erjia
(School of Mechanical and Aerospace Engineering, Nanyang Technological Univ., 50 Nanyang Avenue, Singapore 639798, SGP)
,
HARDT David E.
(Dep. of Mechanical Engineering, Singapore-MIT Alliance, Massachusetts Inst. of Technol., 77 Massachusetts Avenue ...)
,
CHUN Jung H.
(Dep. of Mechanical Engineering, Singapore-MIT Alliance, Massachusetts Inst. of Technol., 77 Massachusetts Avenue ...)
資料名：
Sensors and Actuators. B. Chemical
(Sensors and Actuators. B. Chemical)
巻： 163 号： 1 ページ： 290-298 発行年： 2012年03月01日
JST資料番号： T0967A ISSN： 0925-4005 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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