文献
J-GLOBAL ID:201202276551857495
整理番号:12A0812530
六方晶窒化ホウ素の化学蒸着
Chemical Vapor Deposition of Hexagonal Boron Nitride
著者 (2件):
SUZUKI Satoru
(NTT Basic Res. Laboratories, NTT Corp., JPN)
,
HIBINO Hiroki
(NTT Basic Res. Laboratories, NTT Corp., JPN)
資料名:
e-Journal of Surface Science and Nanotechnology (Web)
(e-Journal of Surface Science and Nanotechnology (Web))
巻:
10
ページ:
133-138 (J-STAGE)
発行年:
2012年
JST資料番号:
U0016A
ISSN:
1348-0391
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
日本 (JPN)
言語:
英語 (EN)