文献
J-GLOBAL ID:201202276556456880
整理番号:12A1770241
Joule自己加熱下における表面マイクロマシン加工ポリシリコンレジスタのTCR符号変化
TCR Sign Variation of Surface Micromachined Polysilicon Resistor under Joule Self-Heating
著者 (5件):
MA Hongyu
(China Univ. of Mining and Technol., Xuzhou, CHN)
,
WANG Lei
(Southeast Univ., Nanjing, CHN)
,
SONG Jing
(Southeast Univ., Nanjing, CHN)
,
ZHANG Weidong
(China Univ. of Mining and Technol., Xuzhou, CHN)
,
DING Enjie
(China Univ. of Mining and Technol., Xuzhou, CHN)
資料名:
Integrated Ferroelectrics
(Integrated Ferroelectrics)
巻:
136
ページ:
99-105
発行年:
2012年
JST資料番号:
W0539A
ISSN:
1058-4587
CODEN:
IFEREU
資料種別:
逐次刊行物 (A)
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)