文献
J-GLOBAL ID:201202276613707231
整理番号:12A1743697
DCマグネトロンスパッタリングシステムにおける堆積基板表面の平滑化設計とプロセスのエミュレーション
Smoother Substrate Deposition Designs and Process Emulations of DC Magnetron Sputters
著者 (3件):
LIU Cheng-Tsung
(National Sun Yat-Sen Univ., Kaohsiung, TWN)
,
CHANG Chih-Wen
(National Sun Yat-Sen Univ., Kaohsiung, TWN)
,
HWANG Chang-Chou
(Feng Chia Univ., Taichung, TWN)
資料名:
IEEE Transactions on Magnetics
(IEEE Transactions on Magnetics)
巻:
48
号:
11
ページ:
4432-4435
発行年:
2012年11月
JST資料番号:
A0339B
ISSN:
0018-9464
CODEN:
IEMGAQ
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)