文献
J-GLOBAL ID:201202276923158394
整理番号:12A0239140
電気化学的機械的研磨中のタンタルの酸化に対する電位と機械的刺激の影響
Effects of Potential and Mechanical Stimulation on Oxidation of Tantalum During Electrochemical Mechanical Polishing
著者 (2件):
GAO F.
(Texas A&M Univ., Dep. of Mechanical Engineering, 3123 TAMU, 77843-3123, Coll. Station, TX, USA)
,
LIANG Hong
(Texas A&M Univ., Dep. of Mechanical Engineering, 3123 TAMU, 77843-3123, Coll. Station, TX, USA)
資料名:
Journal of Electronic Materials
(Journal of Electronic Materials)
巻:
41
号:
3
ページ:
624-631
発行年:
2012年03月
JST資料番号:
D0277B
ISSN:
0361-5235
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)