文献
J-GLOBAL ID:201202276950349479
整理番号:12A1046959
半導体製造における拡散面積へのバッチングとスケジューリングアルゴリズム
A batching and scheduling algorithm for the diffusion area in semiconductor manufacturing
著者 (6件):
YUGMA Claude
(Ecole des Mines de Saint-Etienne, Gardanne, FRA)
,
DAUZERE-PERES Stephane
(Ecole des Mines de Saint-Etienne, Gardanne, FRA)
,
ARTIGUES Christian
(LAAS, CNRS, Toulouse, FRA)
,
ARTIGUES Christian
(Univ. Toulouse, Toulouse, FRA)
,
DERREUMAUX Alexandre
(Ecole des Mines de Saint-Etienne, Gardanne, FRA)
,
SIBILLE Olivier
(ATMEL, Rousset, FRA)
資料名:
International Journal of Production Research
(International Journal of Production Research)
巻:
50
号:
6/8
ページ:
2118-2132
発行年:
2012年03月15日
JST資料番号:
E0521A
ISSN:
0020-7543
CODEN:
IJPRB
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)