文献
J-GLOBAL ID:201202279593845828
整理番号:12A1589134
自由分子流と音響帯域外において共振しているMEMS磁力計のための設計基準
Design Criteria for MEMS Magnetometers Resonating in Free-Molecule Flow and Out of the Acoustic Bandwidth
著者 (6件):
LANGFELDER G.
(Politecnico di Milano, Milano, ITA)
,
BUFFA C.
(Politecnico di Milano, Milano, ITA)
,
TOCCHIO A.
(Politecnico di Milano, Milano, ITA)
,
FRANGI A.
(Politecnico di Milano, Milano, ITA)
,
LONGONI A.
(Politecnico di Milano, Milano, ITA)
,
LASALANDRA E.
(ST Microelectronics, Cornaredo (MI), ITA)
資料名:
Proceedings of the IEEE International Frequency Control Symposium
(Proceedings of the IEEE International Frequency Control Symposium)
巻:
2012
ページ:
818-822
発行年:
2012年
JST資料番号:
C0958A
ISSN:
1075-6787
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)