文献
J-GLOBAL ID:201202280588030814
整理番号:12A1778147
25wt% TMAH水溶液による(100)シリコン基板上のマスクレス凸状コーナー補償技術
Maskless convex corner compensation technique on a (100) silicon substrate in a 25 wt% TMAH water solution
著者 (3件):
SMILJANIC Milce M
(Univ. Belgrade, Belgrade,ZZZ)
,
JOVIC Vesna
(Univ. Belgrade, Belgrade,ZZZ)
,
LAZIC Zarko
(Univ. Belgrade, Belgrade,ZZZ)
資料名:
Journal of Micromechanics and Microengineering
(Journal of Micromechanics and Microengineering)
巻:
22
号:
11
ページ:
115011,1-11
発行年:
2012年11月
JST資料番号:
W1424A
ISSN:
0960-1317
CODEN:
JMMIEZ
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)