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文献
J-GLOBAL ID：201202280938366330
整理番号：12A1099672
Al2O3/SiO2検出膜を持つシリコンナノワイヤにより可能とする電解質-絶縁体-半導体高感度pHセンサ
Highly sensitive electrolyte-insulator-semiconductor pH sensors enabled by silicon nanowires with Al2O3/SiO2 sensing membrane
OH Jin Yong
(Dep. of Electrical and Computer Engineering, Univ. of California Davis, One Shields Avenue, Davis, CA 95616, USA)
,
JANG Hyun-june
(Dep. of Electronic Materials Engineering, 447-1, Wolgye-dong, Nowon-gu, Seoul 139-701, KOR)
,
CHO Won-ju
(Dep. of Electronic Materials Engineering, 447-1, Wolgye-dong, Nowon-gu, Seoul 139-701, KOR)
,
ISLAM M. Saif
(Dep. of Electrical and Computer Engineering, Univ. of California Davis, One Shields Avenue, Davis, CA 95616, USA)
資料名：
Sensors and Actuators. B. Chemical
(Sensors and Actuators. B. Chemical)
巻： 171-172 ページ： 238-243 発行年： 2012年08月
JST資料番号： T0967A ISSN： 0925-4005 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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