文献
J-GLOBAL ID:201202281098168113
整理番号:12A0717557
モノリシック集積した面外微小鏡
Monolithically integrated out-of-plane micro-mirror
著者 (2件):
MICHAEL Aron
(Univ. of New South Wales, School of Electrical Engineering and Telecommunication, Sydney, NSW 2052, AUS)
,
KWOK Chee Yee
(Univ. of New South Wales, School of Electrical Engineering and Telecommunication, Sydney, NSW 2052, AUS)
資料名:
Sensors and Actuators. A. Physical
(Sensors and Actuators. A. Physical)
巻:
179
ページ:
263-276
発行年:
2012年06月
JST資料番号:
B0345C
ISSN:
0924-4247
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)