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文献
J-GLOBAL ID：201202281121010190
整理番号：12A0274198
EUV応用のためのMg/Co周期多層膜の熱安定性の研究
Investigation of the thermal stability of Mg/Co periodic multilayers for EUV applications
HU M.-H.
(UPMC Univ Paris 06, CNRS UMR 7614, Lab. Chimie Physique-Matiere Rayonnement, 11 rue Pierre et Marie Curie, 75231 ...)
,
GUEN K.
(UPMC Univ Paris 06, CNRS UMR 7614, Lab. Chimie Physique-Matiere Rayonnement, 11 rue Pierre et Marie Curie, 75231 ...)
,
ANDRE J.-M.
(UPMC Univ Paris 06, CNRS UMR 7614, Lab. Chimie Physique-Matiere Rayonnement, 11 rue Pierre et Marie Curie, 75231 ...)
,
ZHOU S. K.
(Tongji Univ., Inst. of Precision Optical Engineering, Dep. of Physics, 200092, Shanghai, P.R. China)
,
LI H. C.
(Tongji Univ., Inst. of Precision Optical Engineering, Dep. of Physics, 200092, Shanghai, P.R. China)
,
ZHU J. T.
(Tongji Univ., Inst. of Precision Optical Engineering, Dep. of Physics, 200092, Shanghai, P.R. China)
,
WANG Z. S.
(Tongji Univ., Inst. of Precision Optical Engineering, Dep. of Physics, 200092, Shanghai, P.R. China)
,
MENY C.
(CNRS UMR 7504, Inst. de Physique et Chimie des Materiaux de Strasbourg, 23 rue du Loess, BP 43, 67034, Strasbourg ...)
,
MAHNE N.
(CNR-IOM Laboratorio TASC, SS 14 km 163,5, 34149, Basovizza, Trieste, ITA)
,
GIGLIA A.
(CNR-IOM Laboratorio TASC, SS 14 km 163,5, 34149, Basovizza, Trieste, ITA)
,
NANNARONE S.
(CNR-IOM Laboratorio TASC, SS 14 km 163,5, 34149, Basovizza, Trieste, ITA)
,
NANNARONE S.
(Universita di Modenae R.E., Dipartimento Ingegneria Materiali, via Vignolese 905/a, Modena, ITA)
,
ESTEVE I.
(Univ Paris 06 et 07, CNRS UMR 7590, Inst. de Mineralogie et de Physique des Milieux Condenses, 4 place Jussieu ...)
,
WALLS M.
(Univ Paris Sud, Lab. de Physiques des Solides, CNRS UMR 8502, 91405, Orsay, FRA)
,
JONNARD P.
(UPMC Univ Paris 06, CNRS UMR 7614, Lab. Chimie Physique-Matiere Rayonnement, 11 rue Pierre et Marie Curie, 75231 ...)
資料名：
Applied Physics. A. Materials Science & Processing
(Applied Physics. A. Materials Science & Processing)
巻： 106 号： 3 ページ： 737-745 発行年： 2012年03月
JST資料番号： D0256C ISSN： 0947-8396 CODEN： APHYCC 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： ドイツ (DEU) 言語： 英語 (EN)
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