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文献
J-GLOBAL ID：201202281182800461
整理番号：12A1222720
O2気体流を変えてRFスパッタリングで蒸着した非晶質In-Ga-Zn-O膜の組成が光学的性質と電気的性質に及ぼす影響
Effects of composition on optical and electrical properties of amorphous In-Ga-Zn-O films deposited using radio-frequency sputtering with varying O2 gas flows
LEE Yih-shing
(Dep. of Optoelectronic System Engineering, Minghsin Univ. of Sci. & Technol., Hsin-Fong, Hsin-Chu 30401, Taiwan, TWN)
,
CHEN Wei-jhe
(Dep. of Optoelectronic System Engineering, Minghsin Univ. of Sci. & Technol., Hsin-Fong, Hsin-Chu 30401, Taiwan, TWN)
,
HUANG Jyun-sheng
(Dep. of Optoelectronic System Engineering, Minghsin Univ. of Sci. & Technol., Hsin-Fong, Hsin-Chu 30401, Taiwan, TWN)
,
WU Shich-chuan
(National Nano Device Laboratories, Science-based Industrial Park, Hsin-chu 30078, Taiwan, TWN)
資料名：
Thin Solid Films
(Thin Solid Films)
巻： 520 号： 23 ページ： 6942-6946 発行年： 2012年09月30日
JST資料番号： B0899A ISSN： 0040-6090 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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