文献
J-GLOBAL ID:201202281455766407
整理番号:12A1771559
電子ビーム励起プラズマにより蒸着した導電性Mgドープ非晶質炭素膜の低摩擦特性
Low friction properties of conductive Mg-doped amorphous carbon films deposited in electron beam excited plasma
著者 (2件):
VAEZ-TAGHAVI Hamed
(Tokyo Inst. of Technol.)
,
HIRATA Atsushi
(Tokyo Inst. of Technol.)
資料名:
ダイヤモンドシンポジウム講演要旨集
巻:
26th
ページ:
184-185
発行年:
2012年11月16日
JST資料番号:
L1241A
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
短報
発行国:
日本 (JPN)
言語:
英語 (EN)