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文献
J-GLOBAL ID：201202282282607860
整理番号：12A0831653
Bit Patterned Media作製におけるナノインプリント用微細Niモールドの開発
島田拓哉
(東芝 研開セ)
,
山本亮介
(東芝 研開セ)
,
沖野剛史
(東芝 研開セ)
,
鎌田芳幸
(東芝 研開セ)
,
喜々津哲
(東芝 研開セ)
資料名：
表面技術協会講演大会講演要旨集
巻： 125th ページ： 217 発行年： 2012年03月01日
JST資料番号： Y0050A ISSN： 0917-2947 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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