文献
J-GLOBAL ID:201202282747773966
整理番号:12A1506357
中間層としてPECVD炭化ケイ素を使ったシリコン/ガラスアノードボンディングの検討
Investigation of silicon/glass anodic bonding with PECVD silicon carbide as the intermediate layer
著者 (5件):
TANG W
(Peking Univ., Beijing, CHN)
,
TANG W
(Chinese Acad. of Engineering Physics, Sichuan, CHN)
,
MENG B
(Peking Univ., Beijing, CHN)
,
SU W
(Chinese Acad. of Engineering Physics, Sichuan, CHN)
,
ZHANG H X
(Peking Univ., Beijing, CHN)
資料名:
Journal of Micromechanics and Microengineering
(Journal of Micromechanics and Microengineering)
巻:
22
号:
9
ページ:
095011,1-7
発行年:
2012年09月
JST資料番号:
W1424A
ISSN:
0960-1317
CODEN:
JMMIEZ
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)