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文献
J-GLOBAL ID：201202285132149374
整理番号：12A1711859
金属ガラスを用いたナノインプリントのための2Tドット/インチ2のナノドットアレイ型の作製
Fabrication of nanodot array mold with 2 Tdot/in.2 for nanoimprint using metallic glass
FUKUDA Yasuyuki
(BMG Co., Ltd., Sendai 983-0036, Japan and Dep. of Materials Processing, Graduate School of Engineering, Tohoku Univ. ...)
,
SAOTOME Yasunori
(Kansai Center, Inst. for Materials Res., Tohoku Univ., Himeji, Hyogo 671-2280, JPN)
,
NISHIYAMA Nobuyuki
(RIMCOF Tohoku Univ. Lab., The Materials Process Technol. Center, Sendai 980-8577, JPN)
,
TAKENAKA Kana
(RIMCOF Tohoku Univ. Lab., The Materials Process Technol. Center, Sendai 980-8577, JPN)
,
SAIDOH Noriko
(RIMCOF Tohoku Univ. Lab., The Materials Process Technol. Center, Sendai 980-8577, JPN)
,
MAKABE Eiichi
(BMG Co., Ltd., Sendai 983-0036, JPN)
,
INOUE Akihisa
(Tohoku Univ., Sendai 980-8577, JPN)
資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena
(Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena)
巻： 30 号： 6 ページ： 061602-061602-7 発行年： 2012年11月
JST資料番号： E0974A ISSN： 2166-2746 CODEN： JVTBD9 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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