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文献

J-GLOBAL ID：201202286120141803 整理番号：12A0590016

3次元集積化多軸触覚センサのためのTSV作製

著者 (6件)：

平嶋大樹

(Osaka Univ.)

横山輔久登

(Osaka Univ.)

寒川雅之

(Osaka Univ.)

金島岳

(Osaka Univ.)

奥山雅則

(Osaka Univ.)

野間春生

(Advanced Telecommunications Res. Inst. International)

資料名：

応用物理学関係連合講演会講演予稿集(CD-ROM) (Extended Abstracts of the Spring Meeting, Japan Society of Applied Physics and the Related Societies)

巻： 59th ページ： ROMBUNNO.15P-GP3-16 発行年： 2012年02月29日
JST資料番号： Y0054B 資料種別：会議録 (C)
記事区分：短報発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

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