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文献
J-GLOBAL ID：201202291458191761
整理番号：12A1288896
酸化亜鉛膜の原子層堆積:トライボロジー性能に対するナノ結晶特性の影響
Atomic layer deposition of zinc oxide films: Effects of nanocrystalline characteristics on tribological performance
CHAI Zhimin
(The State Key Lab. of Tribology, Tsinghua Univ., Beijing 100084, CHN)
,
LU Xinchun
(The State Key Lab. of Tribology, Tsinghua Univ., Beijing 100084, CHN)
,
HE Dannong
(National Engineering Res. Center for Nanotechnology and Application, Shanghai 200241, CHN)
資料名：
Surface & Coatings Technology
(Surface & Coatings Technology)
巻： 207 ページ： 361-366 発行年： 2012年08月25日
JST資料番号： D0205C ISSN： 0257-8972 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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