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文献
J-GLOBAL ID：201202291755940994
整理番号：12A1428833
フリップチップ実装に向けたHot-Wre法による水素ラジカル洗浄~再酸化抑制効果の検討~
鎌谷良介
(九州工大 大学院工学府)
,
野北寛太
(九州工大 大学院工学府)
,
野北寛太
(福岡県産業・科学技術振興財団)
,
太夫本悟
(九州工大 大学院工学府)
,
和泉亮
(九州工大 大学院工学府)
資料名：
マイクロエレクトロニクスシンポジウム論文集
(エレクトロニクス実装学会秋季大会論文集)
巻： 22nd ページ： 51-52 発行年： 2012年09月12日
JST資料番号： X0060A ISSN： 2434-396X 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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