文献
J-GLOBAL ID:201202291825921410
整理番号:12A0779919
結合マイクロカンチレバを用いた単結晶シリコンのYoung率異方性を決定する単純手法
A SIMPLE TECHNIQUE TO DETERMINE THE ANISOTROPY OF YOUNG’S MODULUS OF SINGLE CRYSTAL SILICON USING COUPLED MICRO-CANTILEVERS
著者 (4件):
BOYD E. J.
(Univ. Strathclyde, Glasgow, GBR)
,
CHOUBEY B.
(Univ. Glasgow, Glasgow, GBR)
,
ARMSTRONG I.
(Univ. Strathclyde, Glasgow, GBR)
,
UTTAMCHANDANI D.
(Univ. Strathclyde, Glasgow, GBR)
資料名:
Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems
(Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems)
巻:
25th Vol.1
ページ:
389-391
発行年:
2012年
JST資料番号:
W0377A
ISSN:
1084-6999
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
短報
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)