文献
J-GLOBAL ID:201202291828964790
整理番号:12A1429681
接点エッジ粗さとCD均一性測定に及ぼす雑音影響
Noise effects on contact edge roughness and CD uniformity measurement
著者 (4件):
CONSTANTOUDIS V.
(NCSR “Demokritos”, Aghia Paraskevi, GRC)
,
MURUGESAN KUPPUSWAMY V. K.
(NCSR “Demokritos”, Aghia Paraskevi, GRC)
,
MURUGESAN KUPPUSWAMY V. K.
(NTUA, Athens, GRC)
,
GOGOLIDES E.
(NCSR “Demokritos”, Aghia Paraskevi, GRC)
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
8324
号:
Pt.1
ページ:
83240K.1-83240K.10
発行年:
2012年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)