文献
J-GLOBAL ID:201202292162457100
整理番号:12A0779900
中性粒子ビームエッチングを用いた共振器におけるプラズマ起因機械的損傷の回復:アレイ化カンチレバによるウエハスケール検証
RECOVERY OF PLASMA-INDUCED MECHANICAL DAMAGE IN RESONATORS USING NEUTRAL BEAM ETCHING: WAFER-SCALE VALIDATION BY ARRAYED CANTILEVERS
著者 (13件):
NISHIMORI Y.
(3D BEANS Center, Tokyo, JPN)
,
NISHIMORI Y.
(Shizuoka Univ., Hamamatsu, JPN)
,
UEKI S.
(3D BEANS Center, Tokyo, JPN)
,
MIWA K.
(3D BEANS Center, Tokyo, JPN)
,
MIWA K.
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
,
KUBOTA T.
(3D BEANS Center, Tokyo, JPN)
,
KUBOTA T.
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
,
SAMUKAWA S.
(3D BEANS Center, Tokyo, JPN)
,
SAMUKAWA S.
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
,
HASHIGUCHI G.
(3D BEANS Center, Tokyo, JPN)
,
HASHIGUCHI G.
(Shizuoka Univ., Hamamatsu, JPN)
,
SUGIYAMA M.
(3D BEANS Center, Tokyo, JPN)
,
SUGIYAMA M.
(Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
資料名:
Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems
(Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems)
巻:
25th Vol.1
ページ:
313-316
発行年:
2012年
JST資料番号:
W0377A
ISSN:
1084-6999
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
短報
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)