文献
J-GLOBAL ID:201202292225631830
整理番号:12A1216934
ブロック共重合体の全トラック誘導自己組織化:プロセスフローと欠陥の起源
All track directed self-assembly of block copolymers: process flow and origin of defects
著者 (9件):
RINCON DELGADILLO Paulina A.
(Univ. Wisconsin-Madison, WI)
,
RINCON DELGADILLO Paulina A.
(IMEC, Leuven, BEL)
,
GRONHEID Roel
(IMEC, Leuven, BEL)
,
THODE Christopher J.
(Univ. Wisconsin-Madison, WI)
,
WU Hengpeng
(AZ Electronic Materials, NJ)
,
CAO Yi
(AZ Electronic Materials, NJ)
,
SOMERVELL Mark
(Tokyo Electron America, TX)
,
NAFUS Kathleen
(Tokyo Electron America, TX)
,
NEALEY Paul F.
(Univ. Wisconsin-Madison, WI)
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
8323
ページ:
83230D.1-83230D.9
発行年:
2012年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)