文献
J-GLOBAL ID:201202292553135565
整理番号:12A0819410
事前に非結晶化した極浅層接合中のリンと炭素の共拡散
Codiffusion of Phosphorus and Carbon in Preamorphized Ultrashallow Junctions
著者 (4件):
LING Y. T.
(Chang Gung Univ., Taoyuan, TWN)
,
HUANG M. J.
(Chang Gung Univ., Taoyuan, TWN)
,
CHANG R. D.
(Chang Gung Univ., Taoyuan, TWN)
,
PELAZ L.
(Univ. Valladolid, Valladolid, ESP)
資料名:
Electrochemical and Solid-State Letters
(Electrochemical and Solid-State Letters)
巻:
15
号:
6
ページ:
H202-H204
発行年:
2012年
JST資料番号:
W1290A
ISSN:
1099-0062
CODEN:
ESLEF6
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
短報
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)