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文献
J-GLOBAL ID：201202292830554449
整理番号：12A1212301
滞留時間制約と活動時間変化を持つ単一アームクラスタツールのPetriネットモデリングとウエハ滞留時間解析
Petri Net Modeling and Wafer Sojourn Time Analysis of Single-Arm Cluster Tools With Residency Time Constraints and Activity Time Variation
QIAO Yan
(Guangdong Univ. Technol., Guangzhou, CHN)
,
WU NaiQi
(Guangdong Univ. Technol., Guangzhou, CHN)
,
ZHOU MengChu
(New Jersey Inst. Technol., NJ, USA)
,
ZHOU MengChu
(Tongji Univ., Shanghai, CHN)
資料名：
IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing
(IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing)
巻： 25 号： 3 ページ： 432-446 発行年： 2012年08月
JST資料番号： T0521A ISSN： 0894-6507 CODEN： ITSMED 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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