文献
J-GLOBAL ID:201202292846273954
整理番号:12A1641671
MEMS光学部品の設計,製作とアセンブリ
Design, Fabrication and Assembly of MEMS Optical Components
著者 (3件):
CHIU Yi
(National Chiao Tung Univ., Hsin Chu, TWN)
,
SHIH Hsih-Fu
(National Chung Hsin Univ., Taichung, TWN)
,
LEE Chi-Hung
(Feng Chia Univ., Taichung, TWN)
資料名:
Technical Digest of International Conference on Optics-photonics Design & Fabrication
(Technical Digest of International Conference on Optics-photonics Design & Fabrication)
巻:
8th
ページ:
171-172
発行年:
2012年
JST資料番号:
L4372A
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
短報
発行国:
日本 (JPN)
言語:
英語 (EN)