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文献
J-GLOBAL ID：201202293237702080
整理番号：12A0532348
フレッキシブルアームを有する高速高精度軽量ステージのモデリングと同定
Modeling and Identification of High Speed High Accuracy Lightweight Stages with Flexible Arms
FANA S.X.
(National Univ. Defense Technol., Hunan, CHN)
,
FAN D.P.
(National Univ. Defense Technol., Hunan, CHN)
,
ZHANG Z.Y.
(National Univ. Defense Technol., Hunan, CHN)
,
LU Y.F.
(National Univ. Defense Technol., Hunan, CHN)
資料名：
Key Engineering Materials
(Key Engineering Materials)
巻： 499 ページ： 247-252 発行年： 2012年
JST資料番号： D0744C ISSN： 1013-9826 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： スイス (CHE) 言語： 英語 (EN)
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