文献
J-GLOBAL ID:201202293237702080
整理番号:12A0532348
フレッキシブルアームを有する高速高精度軽量ステージのモデリングと同定
Modeling and Identification of High Speed High Accuracy Lightweight Stages with Flexible Arms
著者 (4件):
FANA S.X.
(National Univ. Defense Technol., Hunan, CHN)
,
FAN D.P.
(National Univ. Defense Technol., Hunan, CHN)
,
ZHANG Z.Y.
(National Univ. Defense Technol., Hunan, CHN)
,
LU Y.F.
(National Univ. Defense Technol., Hunan, CHN)
資料名:
Key Engineering Materials
(Key Engineering Materials)
巻:
499
ページ:
247-252
発行年:
2012年
JST資料番号:
D0744C
ISSN:
1013-9826
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
スイス (CHE)
言語:
英語 (EN)