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文献
J-GLOBAL ID：201202293668095342
整理番号：12A1405185
非晶質酸化物半導体薄膜トランジスタの電気増強に及ぼすマイクロ波アニーリングの効果
Effects of microwave annealing on electrical enhancement of amorphous oxide semiconductor thin film transistor
TENG Li-feng
(Dep. of Photonics and Inst. of Electro-Optical Engineering, National Chiao Tung Univ., Hsinchu 30010, Taiwan)
,
LIU Po-tsun
(Dep. of Photonics and Display Inst., National Chiao Tung Univ., HsinChu 30010, Taiwan)
,
LO Yuan-jou
(Coll. of Photonics and Inst. of Photonic System, National Chiao Tung Univ., Tainan City 71150, Taiwan)
,
LEE Yao-jen
(National Nano Device Laboratories, Hsinchu 30078, Taiwan)
資料名：
Applied Physics Letters
(Applied Physics Letters)
巻： 101 号： 13 ページ： 132901-132901-4 発行年： 2012年09月24日
JST資料番号： H0613A ISSN： 0003-6951 CODEN： APPLAB 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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