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文献
J-GLOBAL ID：201202294509589578
整理番号：12A1457097
変調干渉顕微鏡による計測プラットフォーム
Metrologic platform with a modulation interference microscope
LOPAREV A. V.
(OOO Amphora Lab., Moscow)
,
PRAVDIVTSEV A. V.
(OOO Amphora Lab., Moscow)
,
IGNAT’EV P. S.
(OOO Amphora Lab., Moscow)
,
INDUKAEV K. V.
(OOO Amphora Lab., Moscow)
,
OSIPOV P. A.
(OOO Amphora Lab., Moscow)
,
ROMASH E. V.
(Moscow State Technical Univ. STANKIN, Moscow)
資料名：
Journal of Optical Technology
(Journal of Optical Technology)
巻： 79 号： 6 ページ： 371-375 発行年： 2012年06月
JST資料番号： H0664A ISSN： 1070-9762 CODEN： JOTEE4 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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