文献
J-GLOBAL ID:201202294784777708
整理番号:12A1092647
大きく薄い水晶基板上への微細構造複製のためのロールプレス式UVインプリントプロセスの開発
Development of a Roll Press UV Impriny Process for Replication of Microstructures on a Large and Thin Quartz Substrate
著者 (7件):
OKUBO Motonori
(Engineering System Co., Ltd., Nagano, JPN)
,
TSUTSUI Yutaka
(Engineering System Co., Ltd., Nagano, JPN)
,
ISHIBASHI Kentaro
(Waseda Univ., Tokyo, JPN)
,
LI Lingyi
(Waseda Univ., Tokyo, JPN)
,
SHOJI Shuichi
(Waseda Univ., Tokyo, JPN)
,
MIZUNO Jun
(Waseda Univ., Tokyo, JPN)
,
YANAGISAWA Masumi
(Engineering System Co., Ltd., Nagano, JPN)
資料名:
Journal of Photopolymer Science and Technology
(Journal of Photopolymer Science and Technology)
巻:
25
号:
2
ページ:
229-234
発行年:
2012年
JST資料番号:
L0202A
ISSN:
0914-9244
CODEN:
JSTEEW
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
日本 (JPN)
言語:
英語 (EN)