文献
J-GLOBAL ID:201202295099911236
整理番号:12A0121696
酸化亜鉛の空間原子層堆積の成長とトランジスタ特性に及ぼすサイクル時間の影響
Cycle time effects on growth and transistor characteristics of spatial atomic layer deposition of zinc oxide
著者 (4件):
NELSON Shelby F.
(Kodak Res. Laboratories, Eastman Kodak Co., 1999 Lake Avenue, Rochester, New York 14650)
,
LEVY David H.
(Kodak Res. Laboratories, Eastman Kodak Co., 1999 Lake Avenue, Rochester, New York 14650)
,
TUTT Lee W.
(Kodak Res. Laboratories, Eastman Kodak Co., 1999 Lake Avenue, Rochester, New York 14650)
,
BURBERRY Mitchell
(Kodak Res. Laboratories, Eastman Kodak Co., 1999 Lake Avenue, Rochester, New York 14650)
資料名:
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films
(Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻:
30
号:
1
ページ:
01A154
発行年:
2012年01月
JST資料番号:
C0789B
ISSN:
0734-2101
CODEN:
JVTAD6
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)