文献
J-GLOBAL ID:201202295356071465
整理番号:12A0669596
クリーンルームの補給空気ユニット(MAU)中で使用されるケミカルフィルターの吸着速度論
Adsorption Kinetics for the Chemical Filters Used in the Make-Up Air Unit (MAU) of a Cleanroom
著者 (2件):
SHIUE Angus
(National Taipei Univ. Technol., Taipei, TWN)
,
HU Shih-Cheng
(National Taipei Univ. Technol., Taipei, TWN)
資料名:
Separation Science and Technology
(Separation Science and Technology)
巻:
47
号:
1-4
ページ:
577-583
発行年:
2012年01月01日
JST資料番号:
D0435B
ISSN:
0149-6395
CODEN:
SSTEDS
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)