文献
J-GLOBAL ID:201202295368504669
整理番号:12A0059251
酸素プラズマにおけるタングステンがドープされた雰囲気での炭素膜のエロージョン
Erosion of tungsten-doped amorphous carbon films in oxygen plasma
著者 (5件):
WANG P.
(Max-Planck-Institute fuer Plasmaphysik, EURATOM Assoc., Boltzmannstr. 2, 85748 Garching, DEU)
,
JACOB W.
(Max-Planck-Institute fuer Plasmaphysik, EURATOM Assoc., Boltzmannstr. 2, 85748 Garching, DEU)
,
BALDEN M.
(Max-Planck-Institute fuer Plasmaphysik, EURATOM Assoc., Boltzmannstr. 2, 85748 Garching, DEU)
,
MANHARD A.
(Max-Planck-Institute fuer Plasmaphysik, EURATOM Assoc., Boltzmannstr. 2, 85748 Garching, DEU)
,
SCHWARZ-SELINGER T.
(Max-Planck-Institute fuer Plasmaphysik, EURATOM Assoc., Boltzmannstr. 2, 85748 Garching, DEU)
資料名:
Journal of Nuclear Materials
(Journal of Nuclear Materials)
巻:
420
号:
1-3
ページ:
101-109
発行年:
2012年01月
JST資料番号:
D0148A
ISSN:
0022-3115
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)