文献
J-GLOBAL ID:201202295758849101
整理番号:12A0772975
青色半導体レーザアニールによる薄膜シリコンの結晶状態の制御
Control of Crystallization Behavior of Silicon Thin Films by Semiconductor Blue-Multi-Diode-Laser Annealing
著者 (9件):
白井克弥
(琉球大 工)
,
MUGIRANEZA J.D.
(琉球大 工)
,
鈴木俊治
(琉球大 工)
,
岡田竜弥
(琉球大 工)
,
野口隆
(琉球大 工)
,
松島英樹
(日立コンピュータ機器)
,
橋本隆夫
(日立コンピュータ機器)
,
荻野義明
(日立コンピュータ機器)
,
佐保田英二
(日立コンピュータ機器)
資料名:
電子情報通信学会技術研究報告
(IEICE Technical Report (Institute of Electronics, Information and Communication Engineers))
巻:
112
号:
18(SDM2012 1-18)
ページ:
33-36
発行年:
2012年04月20日
JST資料番号:
S0532B
ISSN:
0913-5685
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
日本 (JPN)
言語:
日本語 (JA)