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文献
J-GLOBAL ID：201202298918501386
整理番号：12A0562913
サブ100nmリフトオフ構造用先進的コロイドリソグラフィー
Advanced colloidal lithography for sub-100 nm lift-off structures
HOMONNAY Nico
(Interdisziplinaeres Zentrum fuer Materialwissenschaften, Martin-Luther-Universitaet Halle-Wittenberg ...)
,
GEYER Nadine
(Max Planck Inst. of Microstructure Physics, Weinberg 2, D-06120 Halle, DEU)
,
FUHRMANN Bodo
(Interdisziplinaeres Zentrum fuer Materialwissenschaften, Martin-Luther-Universitaet Halle-Wittenberg ...)
,
LEIPNER Hartmut S.
(Interdisziplinaeres Zentrum fuer Materialwissenschaften, Martin-Luther-Universitaet Halle-Wittenberg ...)
資料名：
Vacuum
(Vacuum)
巻： 86 号： 9 ページ： 1232-1234 発行年： 2012年03月14日
JST資料番号： E0347A ISSN： 0042-207X 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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