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文献
J-GLOBAL ID：201202299052247457
整理番号：12A0438627
結晶シリコン上に積層したSiNx/a-SiとSiNx/Si過剰SiNx積層の不動態化特性
Passivation characteristics of SiNx/a-Si and SiNx/Si-rich-SiNx stacked layers on crystalline silicon
CHAM THI Trinh
(Japan Advanced Inst. of Sci. and Technol. (JAIST) 1-1 Asahidai, Nomi, Ishikawa 923-1292, JPN)
,
KOYAMA Koichi
(Japan Advanced Inst. of Sci. and Technol. (JAIST) 1-1 Asahidai, Nomi, Ishikawa 923-1292, JPN)
,
KOYAMA Koichi
(CREST, Japan Sci. and Technol. Agency (JST) 4-1-8 Honcho, Kawaguchi, Saitama 332-0012, JPN)
,
OHDAIRA Keisuke
(Japan Advanced Inst. of Sci. and Technol. (JAIST) 1-1 Asahidai, Nomi, Ishikawa 923-1292, JPN)
,
MATSUMURA Hideki
(Japan Advanced Inst. of Sci. and Technol. (JAIST) 1-1 Asahidai, Nomi, Ishikawa 923-1292, JPN)
,
MATSUMURA Hideki
(CREST, Japan Sci. and Technol. Agency (JST) 4-1-8 Honcho, Kawaguchi, Saitama 332-0012, JPN)
資料名：
Solar Energy Materials and Solar Cells
(Solar Energy Materials and Solar Cells)
巻： 100 ページ： 169-173 発行年： 2012年05月
JST資料番号： D0513C ISSN： 0927-0248 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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