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文献
J-GLOBAL ID：201302200619267765
整理番号：13A0833927
熱酸化しFe汚染したn型Si(001)表面上の強化 遅延 SiO2成長
Enhanced and Retarded SiO2 Growth on Thermally Oxidized Fe-Contaminated n-Type Si(001) Surfaces
SHIMIZU Hirofumi
(Nihon Univ., Fukushima, JPN)
,
HAGIWARA Hiroyuki
(Nihon Univ., Fukushima, JPN)
資料名：
Japanese Journal of Applied Physics
(Japanese Journal of Applied Physics)
巻： 52 号： 4,Issue 1 ページ： 041302.1-041302.7 発行年： 2013年04月25日
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 CODEN： JJAPB6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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