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文献
J-GLOBAL ID：201302200700893115
整理番号：13A0595764
水晶微量天秤(QCM)法を使用した酸素プラズマ装置内での殺菌のモニタリング
Monitoring of sterilization in an oxygen plasma apparatus, employing a quartz crystal microbalance (QCM) method
YOSHINO Kiyoshi
(Res. and Dev. Div., Iwasaki Electric Co., Ltd., 1-1 Ichiriyma-chyo, Gyoda City, Saitama 361-8505, JPN)
,
MATSUMOTO Hiroyuki
(Res. and Dev. Div., Iwasaki Electric Co., Ltd., 1-1 Ichiriyma-chyo, Gyoda City, Saitama 361-8505, JPN)
,
IWASAKI Tatsuyuki
(Res. and Dev. Div., Iwasaki Electric Co., Ltd., 1-1 Ichiriyma-chyo, Gyoda City, Saitama 361-8505, JPN)
,
KINOSHITA Shinobu
(Res. and Dev. Div., Iwasaki Electric Co., Ltd., 1-1 Ichiriyma-chyo, Gyoda City, Saitama 361-8505, JPN)
,
NODA Kazutoshi
(Res. Inst. for Environmental Management Technol., National Inst. of Advanced Sci. and Technol. (AIST), 16-1 Onogawa ...)
,
IWAMORI Satoru
(Fac. of Engineering, Tokai Univ., 4-1-1 Kitakaname, Hirastuka City, Kanagawa 259-1292, JPN)
資料名：
Vacuum
(Vacuum)
巻： 93 ページ： 84-89 発行年： 2013年07月
JST資料番号： E0347A ISSN： 0042-207X 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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