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文献
J-GLOBAL ID:201302200700893115   整理番号:13A0595764

水晶微量天秤(QCM)法を使用した酸素プラズマ装置内での殺菌のモニタリング

Monitoring of sterilization in an oxygen plasma apparatus, employing a quartz crystal microbalance (QCM) method
著者 (6件):
YOSHINO Kiyoshi
(Res. and Dev. Div., Iwasaki Electric Co., Ltd., 1-1 Ichiriyma-chyo, Gyoda City, Saitama 361-8505, JPN)
MATSUMOTO Hiroyuki
(Res. and Dev. Div., Iwasaki Electric Co., Ltd., 1-1 Ichiriyma-chyo, Gyoda City, Saitama 361-8505, JPN)
IWASAKI Tatsuyuki
(Res. and Dev. Div., Iwasaki Electric Co., Ltd., 1-1 Ichiriyma-chyo, Gyoda City, Saitama 361-8505, JPN)
KINOSHITA Shinobu
(Res. and Dev. Div., Iwasaki Electric Co., Ltd., 1-1 Ichiriyma-chyo, Gyoda City, Saitama 361-8505, JPN)
NODA Kazutoshi
(Res. Inst. for Environmental Management Technol., National Inst. of Advanced Sci. and Technol. (AIST), 16-1 Onogawa ...)
IWAMORI Satoru
(Fac. of Engineering, Tokai Univ., 4-1-1 Kitakaname, Hirastuka City, Kanagawa 259-1292, JPN)

資料名:
Vacuum  (Vacuum)

巻: 93  ページ: 84-89  発行年: 2013年07月 
JST資料番号: E0347A  ISSN: 0042-207X  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: イギリス (GBR)  言語: 英語 (EN)
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