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文献
J-GLOBAL ID：201302201012851995
整理番号：13A0702090
トリメチルアルミニウムとマイクロ波発生原子状酸素の原子層蒸着によるGe(100)上のゲルマニウム酸アルミニウムの自発的形成
Spontaneous formation of aluminum germanate on Ge(100) by atomic layer deposition with trimethylaluminum and microwave-generated atomic oxygen
FUKUDA Yukio
(Tokyo Univ. of Sci., Suwa, 5000-1 Toyohira, Chino, Nagano 391-0292, JPN)
,
ISHIZAKI Hiroki
(Tokyo Univ. of Sci., Suwa, 5000-1 Toyohira, Chino, Nagano 391-0292, JPN)
,
OTANI Yohei
(Tokyo Univ. of Sci., Suwa, 5000-1 Toyohira, Chino, Nagano 391-0292, JPN)
,
YAMAMOTO Chiaya
(Univ. of Yamanashi, 4-3-11 Takeda, Kofu, Yamanashi 400-8511, JPN)
,
YAMANAKA Junji
(Univ. of Yamanashi, 7-32 Miyamae, Kofu, Yamanashi 400-8511, JPN)
,
SATO Tetsuya
(Univ. of Yamanashi, 4-3-11 Takeda, Kofu, Yamanashi 400-8511, JPN)
,
TAKAMATSU Toshiyuki
(SST Inc., 989-6 Shimadadai, Yachiyo, Chiba 276-0004, JPN)
,
OKAMOTO Hiroshi
(Hirosaki Univ., 3 Bunkyo-cho, Hirosaki, Aomori 036-8561, JPN)
,
NARITA Hidehumi
(Hirosaki Univ., 3 Bunkyo-cho, Hirosaki, Aomori 036-8561, JPN)
資料名：
Applied Physics Letters
(Applied Physics Letters)
巻： 102 号： 13 ページ： 132904-132904-4 発行年： 2013年04月01日
JST資料番号： H0613A ISSN： 0003-6951 CODEN： APPLAB 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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