文献
J-GLOBAL ID:201302202366797714
整理番号:13A0083229
イメージングMieエリプソメトリ アルゴン-アセチレンプラズマの挙動
Imaging Mie ellipsometry: dynamics of nanodust clouds in an argon-acetylene plasma
著者 (7件):
GREINER Franko
,
CARSTENSEN Jan
,
KOEHLER Nils
,
PILCH Iris
(Linkoeping Univ., Linkoeping, SWE)
,
KETELSEN Helge
(SENTECH Instruments GmbH, Berlin, DEU)
,
KNIST Sascha
(Graforce Hydro GmbH, Berlin, DEU)
,
PIEL Alexander
資料名:
Plasma Sources Science and Technology
(Plasma Sources Science and Technology)
巻:
21
号:
6
ページ:
065005,1-7
発行年:
2012年12月
JST資料番号:
W0479A
ISSN:
0963-0252
CODEN:
PSTEEU
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)