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文献
J-GLOBAL ID：201302203089885321
整理番号：13A1200066
DSAコンタクトホール収縮プロセス用電気的ビアチェーン収率
Electrical Via Chain Yield for DSA Contact Hole Shrink Process
KATO Hirokazu
(Toshiba Corp., Kanagawa, JPN)
,
SEINO Yuriko
(Toshiba Corp., Kanagawa, JPN)
,
YONEMITSU Hiroki
(Toshiba Corp., Kanagawa, JPN)
,
SATO Hironobu
(Toshiba Corp., Kanagawa, JPN)
,
KANNO Masahiro
(Toshiba Corp., Kanagawa, JPN)
,
KOBAYASHI Katsutoshi
(Toshiba Corp., Kanagawa, JPN)
,
KAWANISHI Ayako
(Toshiba Corp., Kanagawa, JPN)
,
IMAMURA Tsubasa
(Toshiba Corp., Kanagawa, JPN)
,
OMURA Mitsuhiro
(Toshiba Corp., Kanagawa, JPN)
,
NAKAMURA Naofumi
(Toshiba Corp., Kanagawa, JPN)
,
AZUMA Tsukasa
(Toshiba Corp., Kanagawa, JPN)
資料名：
Journal of Photopolymer Science and Technology
(Journal of Photopolymer Science and Technology)
巻： 26 号： 1 ページ： 21-26 発行年： 2013年
JST資料番号： L0202A ISSN： 0914-9244 CODEN： JSTEEW 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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