文献
J-GLOBAL ID:201302203304583200
整理番号:13A0291885
次世代ウエハステージ運動制御:結合システム同定とロバスト制御
Next-Generation Wafer Stage Motion Control: Connecting System Identification and Robust Control
著者 (6件):
OOMEN Tom
(Eindhoven Univ. Technol., Eindhoven, NLD)
,
VAN HERPEN Robbert
(Eindhoven Univ. Technol., Eindhoven, NLD)
,
QUIST Sander
(Eindhoven Univ. Technol., Eindhoven, NLD)
,
VAN DE WAL Marc
(Philips Applied Technol.)
,
BOSGRA Okko
(Eindhoven Univ. Technol., Eindhoven, NLD)
,
STEINBUCH Maarten
(Eindhoven Univ. Technol., Eindhoven, NLD)
資料名:
Proceedings of the American Control Conference
(Proceedings of the American Control Conference)
巻:
2012 Vol.3
ページ:
2455-2460
発行年:
2012年
JST資料番号:
B0982A
ISSN:
0743-1619
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)