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文献
J-GLOBAL ID：201302204685346035
整理番号：13A1926752
導電性ポリマー・金属複合材料の分散溶液を用いたTSVの高速充填
Fast Infilling of TSV with Dispersion of Conductive Polymer/Metal Composite
川喜多仁
(物質・材料研究機構 国際ナノアーキテクトニクス研究拠点)
,
HORVATH Barbara
(物質・材料研究機構 国際ナノアーキテクトニクス研究拠点)
,
知京豊裕
(物質・材料研究機構 国際ナノアーキテクトニクス研究拠点)
資料名：
表面技術
(Journal of the Surface Finishing Society of Japan)
巻： 64 号： 12 ページ： 685-686 発行年： 2013年12月01日
JST資料番号： G0441B ISSN： 0915-1869 CODEN： HYGIEX 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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