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文献
J-GLOBAL ID：201302205404494142
整理番号：13A1200105
新規金属性ハードマスクの機能的性質
Functional Properties of Novel Metallic Hard Masks
PADMANABAN Munirathna
(AZ Electronic Materials USA Corp., NJ, USA)
,
CHO JoonYeon
(AZ Electronic Materials USA Corp., NJ, USA)
,
YAO Huirong
(AZ Electronic Materials USA Corp., NJ, USA)
,
MCKENZIE Douglas
(AZ Electronic Materials USA Corp., NJ, USA)
,
DIOSES Alberto
(AZ Electronic Materials USA Corp., NJ, USA)
,
MULLEN Salem
(AZ Electronic Materials USA Corp., NJ, USA)
,
WOLFER Elizabeth
(AZ Electronic Materials USA Corp., NJ, USA)
,
KUROSAWA Kazunori
(AZ Electronic Materials Manufacturing(Japan) K.K., Shizuoka, JPN)
資料名：
Journal of Photopolymer Science and Technology
(Journal of Photopolymer Science and Technology)
巻： 26 号： 2 ページ： 231-238 発行年： 2013年
JST資料番号： L0202A ISSN： 0914-9244 CODEN： JSTEEW 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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