文献
J-GLOBAL ID:201302206037182500
整理番号:13A0028656
垂直統合完全差動検知電極を持つ3軸CMOS-MEMS加速度計構造
A Three-Axis CMOS-MEMS Accelerometer Structure With Vertically Integrated Fully Differential Sensing Electrodes
著者 (4件):
TSAI Ming-Han
(Pixart Imaging Inc., Hsinchu, TWN)
,
TSAI Ming-Han
(National Tsing Hua Univ., Hsinchu, TWN)
,
LIU Yu-Chia
(National Tsing Hua Univ., Hsinchu, TWN)
,
FANG Weileun
(National Tsing Hua Univ., Hsinchu, TWN)
資料名:
Journal of Microelectromechanical Systems
(Journal of Microelectromechanical Systems)
巻:
21
号:
6
ページ:
1329-1337
発行年:
2012年12月
JST資料番号:
W0357A
ISSN:
1057-7157
CODEN:
JMIYET
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)